纳米级角度国家一级标准物质研制成功

科技日报北京10月8日电 (记者付丽丽)8日，记者从国家市场监管总局获悉，该局近日新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，这些物质能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。

据标准物质研制单位同济大学相关专家介绍，研制高精度纳米级标准物质，是打造高准确度纳米测量传递链、提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率)，角度绝对准确性在0.001°量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分成36万份;二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm(微米)×300μm(微米)，在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm(微米)×2μm(微米)，不重复使用测量区域次数可达20000次以上。其可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

纳米级角度标准物质的研制成功，实现了纳米测量领域的扁平化计量，可通过在线校准直接将高精度计量数据传递到企业计量现场，避免传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大，将为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。

据了解，国家市场监管总局将持续强化纳米测量领域标准物质研制应用，进一步解决纳米制造“测不了、测不全、测不准”问题，为筑牢新兴产业和未来产业技术基础提供支撑保障。

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编辑：蒋泽南 审编：益申合